| 仕様 |
電源： ＡＣ１００V（単相１００V１５A）１口 アース線付き３芯プラグ使用
装置サイズ： 幅３５０mmｘ奥行き４２０ｍｍｘ高さ３４７ｍｍ
装置重量： １８Ｋｇ
ロータリーポンプ： 排気速度５０ℓ／ｍｉｎ（ＧＬＤ－０５１）
重量：１４．６ｋｇ
試料室サイズ： 内径１４９ｍｍｘ高さ８２ｍｍ（硬質ガラス）
電極―試料ステージ間隔： ４０ｍｍ
試料ステージサイズ： Φ５０ｍｍ（フローティング方式）※オプション傾斜回転使用時 傾斜角度：０~４５° 回転速度：６０ｒｐｍ
搭載可能試料サイズ： 標準：≦Φ５０ｍｍ、高さ≦２０ｍｍ ※オプション傾斜回転使用時 傾斜時：≦Φ２０ｍｍ、高さ≦２０ｍｍ
スパッタターゲット金属仕様： Φ５１ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ（Ａｇのみ０．５ｍｍ） Ｐｔ、Ａｕ、Ａｕ－Ｐｄ、Ｐｔ－Ｐｄ、Ｐｄ、Ａｇ
雰囲気ガス： Ａｉｒ（空気）又はＡｒ（アルゴン） |
